气浮导轨
一,线性气浮导轨由下一代技术组成,使用优质的航空材料制造。
二,标准空气轴承指导公差
1)局部直线度:0.25µm / 25mm,最大误差2µm / 1000mm。
2)平整度:0.0005mm或0.00002inc。
三,气浮导轨应用场景
1)半导体
2)微加工
3)三坐标测量机
4)光学研磨
气浮导轨
一,线性气浮导轨由下一代技术组成,使用优质的航空材料制造。
二,标准空气轴承指导公差
1)局部直线度:0.25µm / 25mm,最大误差2µm / 1000mm。
2)平整度:0.0005mm或0.00002inc。
三,气浮导轨应用场景
1)半导体
2)微加工
3)三坐标测量机
4)光学研磨
气浮导轨
一,线性气浮导轨由下一代技术组成,使用优质的航空材料制造。
二,标准空气轴承指导公差
1)局部直线度:0.25µm / 25mm,最大误差2µm / 1000mm。
2)平整度:0.0005mm或0.00002inc。
三,气浮导轨应用场景
1)半导体
2)微加工
3)三坐标测量机
4)光学研磨